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封头抛光机非球面抛光技术
添加时间:2018-02-28
           封头抛光机传统的非球面抛光依靠手工操作,加工效率低,对操作人员的技术与经验依赖性大,且难以保证抛光质量与重复性。封头抛光机20世纪70年代初美国Itek公司的RUPP等提出计算机控制表面成型技术,使用计算机控制小磨头对非球面元件进行抛光:根据非球面的面型进行抛光路径规划,通过控制抛光头在工件表面的驻留时间及相对压力来控制材料的去除量;同时利用计算机执行速度快、记忆准确等优势使加工的重复精度及效率大幅度提高。美国机床加工直径500mm的抛物面反射镜,面型精度RMS值为0.04μm,表面粗糙度小于Ra5nm,加工时长3个月。CCOS的实现形式较为多样。
         北京理工大学CHENG等在六轴数控加工中心上使用CCOS技术加工770mm×210mm的离轴扁椭球反射镜,经过200h的加工,面型误差P-V值由17.648μm收敛至0.748μm;厦门大学王健等[6]采用基于机器人的CCOS技术加工直径460mm、与最接近比较球面偏离量为14μm的非球面透镜,最终加工面型误差P-V值小于0.12μm。在部分表面质量与面型精度要求极高的场合,非球面元件在经过上述超精密抛光后仍无法满足使用要求。如应用于高能激光系统的非球面反射镜,其表面经过磁流变抛光后会留有磁敏颗粒,而磁敏颗粒中的铁性离子对激光有强烈的吸收作用,严重影响非球面反射镜的激光损伤阈值,需要通过进一步的抛光将其去。
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