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封头抛光机抛光盘部件结构设计
添加时间:2018-12-13
            封头抛光机有效的设备支持才能开发出适合晶圆加工的相关工艺,确定合理的工艺参数封头抛光机由于晶圆表面的加工质量要求很高,因此对机床的床身结构刚度要求很高封头抛光机而抛光头部分采用浮动连接可以降低抛光头夹持部件的平整度要求,但是床身的整体刚度对抛光盘的平面度产生很大的影响,另外,抛光盘的支撑部件对抛光盘的转动精度有很大影响,因此合理的进行床身的设计非常关键。对于某些参变量的讨论只能限制在定性范围内,而且对于具体参变量的影响规律也很难进行直观的分析。采用软件对加工范围内的点列求数值解,并绘制图形,进而可以分析材料去除率及材料去除非均匀性的变化规律。抛光过程中机床运动形式对材料去除率的影响规律。
             从中可以看出在相同的加工条件下,弧形轨道式抛光机的材料去除率与材料去除的非均匀性均略微优于直线轨道式抛光机相差很少。因此在抛光机的结构方案设计中,优先考虑弧形轨道式抛光机,而最终采用何种运动形式还要综合比较抛光机机构实现的难易程度。抛光盘支撑部件是实现抛光主运动的主要部件,其面型精度及旋转精度轴向、径向跳度直接影响到工件的加工质量。在抛光过程中要求抛光盘部件达到很高的面型精度,普通轴承的支撑很难达到要求。另外加工过程中,抛光盘需要承受很大的轴向力、径向力及翻转力矩。长对硅片表面材料去除率及材料去除非均匀性影响很小,可忽略不计,抛光头摆动长度可设计成不可调抛光头摆幅大小及摆动周期设计成可调式,以满足实验要求。摆幅大小可通过调节曲柄偏距及摇杆长度实现,摆动周期可通过控制电机转速来实现。
 
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