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行业新闻 news
封头抛光机非球面超精密抛光技术
添加时间:2018-02-26
         封头抛光机非球面在光学系统中能够提高光学特性、降低系统成本并有效地减轻设备质量,被广泛应用于X射线光学系统、封头抛光机功能光电器件以及信息与微电子等尖端科技领域,而经过车削、磨削及研磨等方式成型的非球面元件,其表面会留有车痕、磨痕以及裂纹、残留应力等亚表面损伤,且加工过程中轴承噪声/振动、控制精度及加工工具磨损等因素均会造成工件面型误差;工件表面/亚表面损伤及面型误差会影响系统光学性能,降低系统可靠性。
         因此需要通过非球面抛光技术对工件进行表面修正。随着非球面应用范围的拓展以及应用精度要求的不断提高,非球面元件其尺寸精度趋近于纳米级,表面质量要求趋向于原子级,应用面型也日益复杂,从而对非球面抛光技术提出了更高的要求。掌握非球面超精密抛光过程中的材料去除机理及由此导致的亚表面损伤等特性对提高非球面抛光的加工精度与加工效率十分重要。
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